G1001-5-3 Cr-N薄膜ひずみゲージを用いた高感度力センサ((5)計測・測定)

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概要

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• We have developed a Cr-N alloy thin film showing a gauge factor of about 10 and a temperature coefficient of resistivity (TCR) of about zero, which is expected as a new strain gauge material in the next generation. We have prepared a force sensor using the film strain gauge, and found that the sensitivity of the sensor is about five times higher than those of a conventional metal foil gauge.

• 2009-09-12

著者

• 佐々木 祥弘

  電磁研

• 丹羽 英二

  電磁研

• 荒井 賢一

  電磁研

• 増本 剛

  電磁研

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