ポリイミドを基板としたCr-N薄膜の作製と微圧センサ応用

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概要

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• 2011-01-13

著者

• 佐々木 祥弘

  電磁研

• 丹羽 英二

  電磁研

• 荒井 賢一

  電磁研

• 増本 剛

  電磁研

• 増本 剛

  (財)電気磁気材料研究所

• 荒井 賢一

  (財)電気磁気材料研究所

• 丹羽 英二

  (財)電気磁気材料研究所

• 佐々木 祥弘

  (財)電気磁気材料研究所

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