走査型容量顕微鏡によるMOSFET動作時の不純物分布計測
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2007-02-10
著者
-
小林 圭
京都大学国際融合創造センター
-
山田 啓文
Dep. Of Electronic Sci. And Engineering Kyoto Univ. Katsura Nishikyo Kyoto 615-8510 Japaninnovative
-
臼田 宏治
(株)東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
-
木村 健次郎
京都大学大学院工学研究科
-
山田 啓文
京都大学大学院工学研究科
-
山田 啓文
京都大学工学研究科電子工学専攻
-
山田 啓文
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
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