フロートチャックと静電拘束力を組み合わせたハイブリッド型チャックの開発

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2000-06-29

著者

• 樋口 俊郎

  東京大学

• 傳 寶莱

  東大院

• 堀 秀爾

  東大院

• 田苗 俊和

  株式会社 コガネイ

• 堀 秀爾

  東京大学

関連論文

• 超磁歪材料の逆磁歪効果を利用した磁極切り替え型リニアステップアクチュエータの基礎的検討
• 弾性表面波の進行波を用いた皮膚感覚ディスプレイ(機械力学,計測,自動制御)
• スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第6報) -自走式コンパクトタイプの試作-
• スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第5報) -加速特性について-
• スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第4報)-自走式タイプの解析-
• スムーズインパクト駆動機構(SIDM)の開発(第3報)-自走式タイプの試作-
• 試料内部3次元情報取得システムによるアルミニウム合金ダイカスト内部の鋳巣観察
• 逐次精密切削加工による試料内部3次元情報取得システムの開発
• 電気化学測定法による植物栽培の培養液測定のためのシングルユースマルチセンサーシステムの開発
• 圧電インパクト駆動機構を用いた部品の精密位置決め装置の開発 -3自由度の位置決め装置の開発-
• 423 精密切削を利用した骨組織の3次元微視構造観察とミネラル分布測定(OS6-3:硬組織のバイオメカニクス(3),OS6:硬組織のバイオメカニクス)
• 400mmシリコンウェハの非接触静電浮上
• 212 真空環境対応静電浮上式リニアモータの開発
• 真空環境用静電リニアモータの位置決め制御
• 静電浮上モータの浮上制御方法の検討
• PZT薄膜を用いた補聴器用イヤホンの検討
• 電磁反発衝撃力を用いた微小駆動機構の位置決め制御(J22-1 センサ・アクチュエータシステムとその知能化(1),J22 センサ・アクチュエータシステムとその知能化-実環境で活躍するメカトロニクスを目指して)
• 電磁反発衝撃力を用いた微小駆動機構の基礎特性(J22-1 センサ・アクチュエータシステムとその知能化(1),J22 センサ・アクチュエータシステムとその知能化-実環境で活躍するメカトロニクスを目指して)
• 小型ハイスループットタンパク結晶化デバイス
• マイクロフルイディクスを利用した単分散二色ポリマー微粒子の生成
• 画像処理による血球計数に関する研究
• P3-47 歪みゲージを用いた積層型圧電素子駆動の微動ステージ(ポスターセッション3,ポスター発表)
• E28 超音波2軸援用マイクロ非球面研磨法の開発(OS-11 超精密加工(1))
• 228 ファストツールサーボによる超精密非軸対称非球面金型の加工(OS-6 超精密加工)
• 超精密加工システムの最新動向(超精密加工システムの新展開)
• 切削加工によるマイクロパーツ製作の試み(第4報 圧電薄膜によるマイクロアクチュエーター製作の試み)
• 1028 MR画像を用いた生体力学計測への静電モータの応用(G02-3 バイオエンジニアリング(3),G02 バイオエンジニアリング)
• 0929 Inverse FEMによる生体軟組織の異方性物性値同定(S05-1 生体のシミュレーション・モデリング・計測(1),S05 生体のシミュレーション・モデリング・計測)
• 3次元内部構造顕微鏡を用いた生体軟組織の半自動FEM解析メッシュ生成
• 病理組織診断用薄切片試料作製システムの開発(第2報) : 引き角制御機構を有する,静電気を利用した薄切片試料作製装置
• アクチュエータ(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
• 低温環境における生体・食品への微細加工技術の開発
• 液滴塗布装置の吐出異常検知に関する研究
• 次世代アクチュエータの展望とトライボロジーの役割
• 弾性表面波振動子によるキャピラリー波と静電気の相互作用による霧化現象に関する研究
• 実用化を控えた様々なアクチュエータ
• アクチュエータ特集記事に当たって(アクチュエータ)
• TiNbAl生体用形状記憶合金の格子変形歪みに及ぼす組成の影響
• フレキシブル基板を用いた静電容量型屈曲センサの開発
• 直動平面型変位拡大機構の開発
• 高エネルギー効率直動型変位拡大機構の開発
• 摩擦保持された部品用精密微調機構
• 圧電プレスを用いるグリーンシートパンチングシステムの開発
• 三次元マイクロ素子成形プレスマシンの開発-丸線を用いた型成形基礎実験と専用マシンの開発-
• 磁気研磨による微細部品のバリ取り
• 振幅拡大機構を用いた圧電マイクロプレスの試作と打抜き加工への応用
• 電磁力駆動の高速往復動テーブルの試作
• 高速移動体の電磁力を利用した非接触急停止機構の開発(第2報) : 停止機構の考察とマイクロコンピュータによる停止制御
• 高速移動体の電磁力を利用した非接触急停止機構の開発(第1報) : 停止装置の試作
• 高速打抜きの実用面での長所(ノ-ト)
• 打抜き製品のかえり及ぼす工具刃先形状の影響(資料)
• 凍結ゼラチンゲル内氷結晶の非破壊計測法に関する研究 : 誘電特性を利用した氷結晶構造の推定
• リニアマイクロスライサを用いた生体内部観察システムの開発
• 凍結ゼラチンゲル内氷結晶の非破壊計測法に関する研究 : 誘電特性を利用した氷結晶構造の推定
• リニアスライサを用いた生体内部観察システムの開発
• 23. 凍結ゼラチン水溶液のインピーダンスと氷結晶性状の関係(第49回低温生物工学会研究報告)
• 圧電素子と電磁力を組み合せた駆動機構を用いたマイクロマニピュレータの開発
• 染色切片の立体再構成による成分分布の3次元解析 : 1玄米粒中の脂質分布への適用
• 静電フィルムアクチュエータを用いた2自由度ロボットアームの開発
• 高出力両面駆動形積層静電モータ
• ロボット関節用静電クラッチのインピーダンス制御
• ロボット関節用静電クラッチの開発--高齢者を支援するシステム(機器)に関する研究
• 柔軟な構造を有する静電リニアアクチュエータの開発:柔軟な静電リニアアクチェエータの権力特性評価
• ELID研削による非軸対称非球面X線ミラーの加工
• 電磁反発力を用いたマイクロステッピング機構の開発 : 負荷慣性体の剛性影響と高速化
• 659 弾性表面波霧化器と静電気力を複合した新たなタンパク質固定化法
• 435 静電スプレーによるタンパク質薄膜と SU-8 カンチレバーを用いた新しいバイオセンサ
• 1P1-N-102 接触面温度予測に基づく物体温度触感の提示 : 個人差を考慮した提示手法(触覚と力覚2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• 砥粒加工によるマイクロメカニカルファブリケーション技法
• 電磁反発衝撃力を用いた駆動機構の上昇下降切替えメカニズム
• 電磁反発衝撃力を利用した垂直移動機構の開発 : 第1報 試作モデルの構造と動作確認
• 電磁石とセンサに冗長性を有する磁気浮上機構の故障時対処法
• 2P1-N-077 弾性表面波デバイスによる液滴の搬送,混合,霧化(マイクロナノ作業2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• ELID研削による回析型光学素子の加工
• ゲルマニウムイマージョングレーティングのマイクロ研削加工
• ELID研削による微細溝加工に関する研究
• A-11-5 水熱合成法によるPZT薄膜を用いた超音波振動子における振動速度限界
• 液滴塗布ヘッド内におけるレーザ生成気泡の挙動観測
• 精密切削による超硬レンズ金型の非球面加工
• ELID研削法の適用効果とシステム
• 凍結状態の卵細胞を対象とする細胞操作法の開発
• 弾性表面波モータの駆動特性の改善
• 弾性表面波モータにおける最適加圧
• カップ砥石による球面レンズ金型のELID 創成研削法及び特性
• ELID研削法による新加工技術とその可能性
• 交流駆動両電極形静電モータ
• 矩形波駆動両電極形静電モータ
• 1P1-S-084 静電誘導を用いた三相交流駆動両電極形静電モータ(アクチュエータの機構と制御2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
• MRI強磁場環境における静電フィルムモータの駆動特性評価
• 摩擦力制御を用いた静電皮膚感覚ディスプレイ
• 接触面温度予測に基づく材質温度感の提示
• 真空環境用静電リニアモータの開発
• ニオブ酸リチウムウエハのELID研削特性
• 弾性表面波霧化器の噴霧特性
• Fe-Ga合金を用いたマイクロアクチュエータの開発
• Fe-Ga合金(Galfenol)と非磁性材料の積層型ユニモルフアクチュエータ
• Fe-Ga合金(Galfenol)を用いたマイクロ磁歪振動子
• 206 Fe-Ga合金を用いた精密位置決め機構の開発(マルチフェロイクス)
• 磁歪材料と圧電材料の機能複合型磁気デバイス (特集 マルチフェロイクス材料・デバイス応用への新展開)
• 612 磁歪材料と圧電アクチュエータの複合化による磁気力制御デバイスとその磁気浮上への応用

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク