TPDシートプラズマ源を用いたCNx膜の成膜と評価
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-07-31
著者
-
TONEGAWA Akira
Department of Physics, School of Science, Tokai University
-
Tonegawa Akira
Department Of Physics School Of Science Tokai University
-
IWASE Mitsuo
Department of Electrical Engineering and Electro-Photo Optics, Tokai University
-
Iwase M
Department Of Electricity School Of Engineering Tokai University
-
Iwase Mitsuo
Department Of Electrical Engeneering Tokai University
-
Ona Ken'ichiro
Department Of Electricity School Of Engineering Tokai University
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