Hollow Discharge Type Ion Source with a Slabformed Ion Beam
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概要
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An ion source utilizing the cold hollow cathode discharge was fabricated and its characteristics were measured. The structure of this ion source is simple and its discharge state is quiet. The plasma density is higher than that of glow discharges. The ion beam with rectangular cross section which is naturally flowing from the rectangular slit in the cathode has a good uniform density distribution. The accelerated ion current is stable and the drift of this current was only a few percent over twelve hours without a regulation of an input electric power.
- 東海大学の論文
- 1984-03-31
著者
-
YABE Eiji
Department of Physics, School of Science, Tokai University
-
Tonegawa A
Tokai University
-
Tonegawa Akira
Department Of Physics School Of Science Tokai University
-
Takayama Kazuo
Institute Of Plasma Physics Nagoya University
-
Sunako Katsuhiko
Department Of Physics School Of Science Tokai University
-
Yabe Eiji
Institute Of Research And Development Tokai University
-
Sunako Katsuhiko
Department Of Physics Faculty Of Science Tokai University
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