Arシｰトプラズマ照射による石英ガラスの表面形状変化
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概要
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- 1999-08-15
著者
-
MATSUSHITA Jun-ichi
Department of Applied Chemistry, School of Engineering, Tokai University
-
TONEGAWA Akira
Department of Physics, School of Science, Tokai University
-
TAKAYAMA Kazuo
Research Institute of Science & Technology, Tokai University
-
Tonegawa Akira
Department Of Physics School Of Science Tokai University
-
Matsushita Jun-ichi
Department Of Applied Chemistry School Of Engineering Tokai University
-
Cho Takahiro
Department Of Applied Chemistry School Of Engineering Tokai University
-
Takayama Kazuo
Research Institute Of Science And Technology Tokai University
-
Takayama Kazuo
Reseach Institute Of Science And Technology Tokai University
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