基板バイアスを用いた電子ビーム蒸着法によるセレン化ガリウム(GaSe)薄膜の作製
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概要
著者
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大山 昌憲
(株)サンバック
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伊藤 浩
東京工業高等専門学校電気工学科
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大山 昌憲
東京高専
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大山 昌憲
東京工業高等専門学校
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伊藤 浩
国立東京工業高等専門学校電気工学科
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大山 昌憲
国立東京工業高等専門学校電気工学科
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