3a-A3-4 RFマグネトロンスパッタリング法によるSiC薄膜の熱的性質
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1988-09-16
著者
-
福地 充
慶大理工
-
大山 昌憲
東京高専
-
大橋 一利
玉川大工
-
大橋 芳子
慶大理工
-
大橋 一利
玉川大工、慶大理工
-
梅沢 朋一
慶大理工
-
大山 昌憲
東京工専
-
加藤 牧夫
東京工専
-
伊東 栄二
ジェコー
-
常山 靖
ジェコー
-
大山 昌憲
東京工業高等専門学校
-
加藤 牧夫
東京工業高等専門学校
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