加藤 牧夫 | 東京工専

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• 加藤 牧夫

  東京工専

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  東京工業高等専門学校

• 大山 昌憲

  東京高専

• 大山 昌憲

  東京工業高等専門学校

• 正木 進

  東京工業高等専門学校

• 福地 充

  慶大理工

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  玉川大工

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  慶大理工

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  玉川大工、慶大理工

• 大山 昌憲

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  慶大理工

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• 岩瀬 満雄

  東海大学工学部材料科学科

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  東京農工大学工学部

• 菊地 章

  東京工業高等専門学校

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著作論文

• 3a-A3-4 RFマグネトロンスパッタリング法によるSiC薄膜の熱的性質
• 3a-A3-3 SiC薄膜の電気的特性への不純物および粒界の影響
• イオンビームアシスト蒸着法によるGe薄膜の特性
• ダブルプローブ法による高周波イオンプレーティング装置のプラズマ密度測定
• 金属クラスタイオン源の応用
• ショットキーダイオードによるGaAsの物性研究
• マイクロ波による厚さ測定
• RIEを用いた光学サブミクロンリソグラフィ
• 非晶質半導体の電気特性

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