DCマグネトロンスパッタリング法によるFe-Ga合金薄膜の作製
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概要
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- 2004-02-20
著者
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内田 裕久
東海大学工学部エネルギー工学科
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内田 裕久
東海大学工学部
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松村 義人
東海大学工学部エネルギー工学科
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松村 義人
東海大学大学院工学研究科応用理学専攻
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松村 義人
東海大学工学部応用物理学科
-
竹内 光明
東海大工
-
竹内 光明
東海大学大学院工学研究科応用理学専攻
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