収束電子回折によるデバイス構造の格子ひずみ評価
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概要
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- 2003-09-10
著者
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戸田 昭夫
Necシリコンシステム研
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五十嵐 信行
NECシリコンシステム研究所
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小此木 堅祐
エルピーダメモリ株式会社
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五十嵐 信行
Necシリコンシステム研
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小野 春彦
NECシリコンシステム研
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小此木 堅祐
エルピーダメモリ開本
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