ELID研削によるCVDダイヤモンド膜の鏡面仕上げ
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概要
著者
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大森 整
理化学研究所
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林 偉民
理化学研究所
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河野 敏夫
高知県工業技術センター
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牧野内 昭武
理化学研究所
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西村 一仁
高知県工業技術センター
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武市 統
高知県工業技術センター
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伊吹 哲
高知県工業技術センター
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武市 統
高知県工業技術センター:京都大学宙空電波科学研究センター
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