60MHzの高周波を用いたマグネトロンスパッタにおけるプラズマ及び成膜特性
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概要
著者
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中川 行人
アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ
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中川 行人
アネルバ
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長谷川 晋也
アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ
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水野 茂
アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ
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佐藤 誠
アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ
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長浜 華子
アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ
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林 利彦
アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ
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渡辺 栄作
アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ
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ウィクラマナヤカ スニル
アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ
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水野 茂
アネルバ株式会社
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中川 行人
アネルバ株式会社
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