プレーナー型VHF(60MHz)マグネトロンを用いたイオン化スパッタによるCuシード層形成技術の開発

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概要

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著者

• 佐藤 誠

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 渡辺 栄作

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 長濱 華子

  アネルバ(株)

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