PCM (Point Cusp Magnetron) 成膜技術の銅配線プロセスへの応用

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概要

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• 2002-06-06

著者

• 佐藤 誠

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 渡邊 栄作

  アネルバ(株)

• 長濱 華子

  アネルバ(株)

• 林 利彦

  アネルバ(株)

• 佐藤 誠

  アネルバ(株)

• ウイクラマナヤカ スニル

  アネルバ(株)

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