圧力センサー-半導体ダイヤモンド薄膜の歪み抵抗効果-
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概要
著者
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北畠 真
松下電器産業 先端技研
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北畠 真
松下電器産業(株)中央研究所
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出口 正洋
松下電器産業(株)中央研究所
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北畠 真
松下電器産業 (株) 先行デバイス開発センター
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出口 正洋
松下電器産業株式会社
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