分子動力学による単結晶シリコンの微小加工機構の解明
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概要
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- 1999-09-01
著者
-
井川 直哉
大阪大学工学部
-
島田 尚一
大阪大学大学院
-
井川 直哉
大阪電気通信大学工学部
-
田中 宏明
大阪電気通信大学 工学部電子機械工学科
-
井川 直哉
大阪大学:大阪電気通信大学
-
田中 宏明
大阪電気通信大学 大学院工学研究科 制御機械工学専攻
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