312 マイクロ研削のためのミリ加工機の開発 : Siマイクロピラミッドを工具とする基本構造(OS6 マイクロ加工(1))
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概要
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Development of milli-machine for super finishing is discussed in this paper. The micro tool which is formed by anisotropic etching of silicon wafer is attached to the milli-machine. The milli-machine is driven by the repulsion of magnetic force. It is found that the developed milli-machine has the cutting ability of the Al-Mg alloy material.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-20
著者
-
山口 智実
関西大学システム理工学部
-
樋口 誠宏
関西大学システム理工学部
-
島田 尚一
大阪大学大学院
-
矢野 章成
関西大学工学部
-
西澤 啓之
関西大学大学院
-
樋口 誠宏
関西大学
-
山口 智実
関西大学
-
矢野 章成
関西大学
-
西澤 啓之
関西大学大学院:(現)(株)モリタ
-
矢野 章成
関西大
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