異方性エッチングによるSi{100}表面粗さのフラクタクル解析
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-03-05
著者
-
山口 智実
関西大学システム理工学部
-
樋口 誠宏
関西大学システム理工学部
-
山本 登
関西大学工学部非常勤
-
矢野 章成
関西大学工学部
-
樋口 誠宏
関西大学工学部
-
山口 智実
関西大学工学部
-
山本 登
関西大学工学部
-
矢野 章成
関西大学
-
伊達 広将
関西大学工学部(院)
関連論文
- 炭素拡散に基づくダイヤモンド工具の熱化学研磨(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- 鋼の超仕上におけるダイヤモンド砥石の摩耗抑制(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- 炭素拡散に基づくダイヤモンド工具の熱化学研磨
- 鋼の超仕上におけるダイヤモンド砥石の摩耗抑制
- セリアを含むメカノケミカル超砥粒砥石の超仕上特性
- ファジィ制御による加工精度の向上
- ファジィアルゴリズムを用いた加工ノウハウの獲得とそのモデル表現
- ファジィ積分による砥石の切れ味評価 : 研削音に関する研究(第4報)
- しきい値論理とファジイ推論に基づく旋削条件の意思決定支援システム
- 1003 各種雰囲気が合成ダイヤモンド工具の精密切削に及ぼす影響 : 工具摩耗ならびに加工面性状への影響(設計工学・システム,生産加工・工作機械,生産システムI)
- 加速管ディスク接合面の最適加工条件の決定
- 無酸素銅のダイヤモンド切削における工具損耗の監視(第2報) : AEによるチッピングの検出と工具寿命診断
- 307 加速管ディスクの表面仕上げに関する研究 : 情報量の概念を用いた最適条件の導出([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 無酸素銅のダイヤモンド切削における工具損耗の監視(第1報) : 工具損耗と切削力のカオス変動
- 315 ダイヤモンド切削工具の摩耗監視に関する研究 : 工具寿命の予測法
- 異方性エッチングによるシリコンマイクロ多刃工具の開発(第2報) : 切削性能評価とミリ加工機の試作
- 異方性エッチングによるシリコンマイクロ多刃工具の開発(第1報) : 工具の作製設計システムの構築
- セリアを含むメカノケミカル超砥粒砥石の構造モデルの構築
- ダイヤモンド切削された集合組織をもつアルミニウム合金の仕上げ面性状(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 結晶異方性のある被削材の超精密加工面のカオス特性
- 圧電素子を用いた電子部品実装装置用力センサの開発
- 被挿入側に受動的コンプライアンス機能を有する組立作業 : 第1報,準静力学解析に基づくRCC機能を有する治具を用いた挿入モデルの構築(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 被挿入側に受動的弾性機能を有する組立作業 -準静力学解析の適用範囲-
- 被挿入側に弾性機能を有する組立作業 -高速度受動挿入に対する効果-
- ビトリファイド超砥粒砥石の作業面の形状モデリング(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- フラクタル幾何学を用いたビトリファイド砥石の設計(第3報) -要求仕上げ性能を満たす設計過程について-
- フラクタル幾何学を用いたビトリファイド砥石の設計(第2報) -非整数ブラウン運動を応用した形状モデリングと設計変数の決定-
- 研ぐ、磨く工具の今と昔
- 307 Si ツールによる微小量切削加工
- 超精密加工面に関する研究(第2報) -加工面のカオス特性に及ぼす仕上げ工具の影響-
- 超精密加工面に関する研究(第1報)-そのカオス特性について-
- 超精密加工面のカオス特性
- ダイヤモンド切削におけるカオス挙動の解明に関する研究
- 複数のロボットによる協調的搬送に関する研究
- 組立用アクティブ・フレキシブル治具の開発(第1報) : 平面対応型アクティブ・フレキシブル治具の試作
- 1320 受動的弾性機能を有する治具を用いた組立に対する準静力学解析(GS-13,14 生産加工・生産システム(2),研究発表講演)
- 無酸素銅の表面特性が真空中の絶縁破壊に及ぼす影響
- 117 能動的挿入システムを有するフレキシブル治具の開発(GS-15 ロボティクス・メカトロニクス)
- 224 凝集シミュレーションによる超微粒砥石の組織解析
- 情報量の概念を用いた磁気ディスク基板の超精密切削条件の決定
- Al合金磁気ディスク基板のダイヤモンド切削による残留応力と変形
- 磁気ディスク基板の超精密切削加工に関する研究(第5報) -形状精度におよぼす残留応力の影響-
- 超精密加工面に関する研究(第3報) -表面残留応力と超精密切削の力学挙動の関係-
- 磁気ディスク基板の超精密切削加工に関する研究(第4報) -情報積算法による最適加工条件の決定-
- 超精密切削加工面の接触特性
- 研削過程における表面性状創成モデル : フラクタル的観点からの検討(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 異方性エッチングされたSi(100)面のフラクタル特性の起源
- 320 異方性エッチングによる Si 表面生成のモンテカルロシミュレーション
- 組立用アクティブ・フレキシブル治具の開発（第2報） : ―平面対応型アクティブ・フレキシブル治具を用いた組立作業―
- 拡散律速凝縮集シミュレーションに基づく超微粒砥石の組織形成に関する研究
- 413 研削砥石の生産スケジューリングシステムに関する研究
- フラクタル幾何学を適用した多孔性超仕上砥石の設計法の開発(第2報) : 砥石作用面の形状モデリングと設計支援システム
- 研削砥石の生産スケジューリング
- フラクタル幾何学を適用した多孔性超仕上砥石の設計法の開発(第1報) : 設計公式の構築
- パーコレーションの概念に基づく研削砥石の砥粒分布に関する考察
- ID3による研削砥石設計に関する知識獲得
- 多孔性超仕上げ砥石の幾何学的・機械的性質が仕上げ性能に及ぼす影響
- ファジィルールによる砥石属性の決定 : 研削砥石の自動設計に関する研究(第3報)
- ファジィ積分モデルに基づく結合剤開発の新手法 : 研削砥石の自動設計に関する研究(第2報)
- 聴感による砥石寿命の診断 : 研削音に関する研究(第3報)
- 超音波振動研作の研究(第2報) : 振動方向と仕上面あらさの関係について
- 超音波振動研削の研究(第1報) : 振動方向と研削量の関係について
- 接触領域の砥粒切れ刃の弾性変位挙動 : 研削砥石の機械的性質に関する研究 (第3報)
- 接触域における砥石弾性に関する一考察 : 研削砥石の機械的性質に関する研究 (第2報)
- 微粒砥石の弾性率のついて : 研削砥石の機械的性質に関する研究(第1報)
- 超精密切削加工された粒子加速管ディスクの接触特性
- パターン認識手法の適用による研削加工モデルの決定 : 研削データベースシステムの構築(第1報)
- センサーベース挙動に関する研究
- 切削砥石の自動設計に関する研究
- 超精密加工面粗さの結晶方位依存性
- 403 ダイヤモンド切削工具のすくい面摩耗の間接的検出(OS11 計測・評価)
- フレキシブル治具を用いた組立作業
- 16進数化機械音スペクトル(HTSP)による加工工程監視システムの構築-旋削加工時における加工工程の監視-
- 被挿入側に弾性機能を有する組立作業 -受動挿入における力学的解析と考察-
- 被挿入側に弾性機能を有する組立作業
- 蛋白質合成を規範とする研削砥石設計の研究
- 研削砥石の知的設計支援技術
- Siマイクロピラミッドによるナノ切削加工の研究(第1報):ミリ加工機の開発と加工面の評価
- 312 マイクロ研削のためのミリ加工機の開発 : Siマイクロピラミッドを工具とする基本構造(OS6 マイクロ加工(1))
- フラクタル幾何学を適用した多孔性超仕上砥石の設計法の開発(第1報) : 設計公式の構築
- 超精密加工面のカオス特性
- 砥石作用面のフラクタル構造の形成要因
- 砥石作用面のフラクタル構造に関する研究
- 機械音スペクトルの出現頻度を用いた加工工程監視システムの開発(第1報,16進数化スペクトルパターン(HSP)表示による工具状態監視システムの構築)(機械力学,計測,自動制御)
- 複数台搬送システムにおいて移動ロボットの行動特性が与える影響
- 工学表面の幾何学的形状評価
- 研削仕上げ面の生成機構に関する研究(第1報) : 砥石作用面のフラクタル性が仕上げ面特性に及ぼす影響
- フラクタル幾何学を用いた研削砥石の設計
- 異方性エッチングによるSi{100}表面粗さのフラクタクル解析
- 圧電素子による力センサ汎用化のための課題
- ロボットの行動制御に関する一方法
- マイクロ・ロボット用センサ・アクチュエータの開発とその評価 (産学連携への掛け橋)
- 改訂された学習指導要領(数学・情報)について
- 数学教育の現状と課題 : 数学科教育法担当者からの一提言
- 砥石作用面のフラクタル構造の形成要因
- フラクタル幾何学を用いた研削砥石の設計
- 砥石作用面のフラクタル構造に関する研究
- 砥石作用面のフラクタル構造の形成機構に関する研究(第2報) -砥石5因子と目なおし条件の影響について-
- C02 無酸素銅精密切削におけるダイヤモンド工具の摩耗と内部欠陥の関係(OS11 超精密加工(1))