<シリコン中の結晶成長時導入欠陥の正体に迫る> シリコン結晶起因表面欠陥の原子間力顕微鏡観察と生成機構
スポンサーリンク
概要
著者
-
小林 淳二
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
藤野 直彦
三菱電機(株)材料研
-
脇山 茂
セイコー電子工業
-
小林 淳二
三菱電機(株)
-
狩野 勇
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
倉本 一雄
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
大森 雅司
島田理化工業(株)
-
脇山 茂
セイコー電子工業(株)科学機器事業部技術ー部技術 2g
-
狩野 勇
三菱電機(株)
関連論文
- C-11 走査型トンネル顕微鏡用圧電セラミックス微動機構(圧電材料・振動子)
- 27a-P-7 UHV-STMによるSi清浄表面の観察
- 走査型トンネル顕微鏡の探針微動機構(固体アクチュエータ)
- ゲート酸化膜の電気的特性に対する有機物汚染の影響
- 28a-R-11 STS/STMによる超伝導エネルギーギャップ分布の測定
- 27a-P-9 STS/STMによる層状物質の局所状態密度関数の測定
- 6a-T-4 Si(111)劈開面のSTM観察
- 28a-D-3 原子像観察のためのSTM装置
- 焼却炉排ガス中のダイオキシン類の直接分解方式の研究開発
- 位置決め機能付き原子間力顕微鏡によるウェーハ表面微小欠陥解析 (特集 材料・分析技術の応用と展開)
- シリコン結晶起因表面欠陥の原子間力顕微鏡観察と生成機構
- ポリイミドを被ふくした炭素繊維とエポキシ樹脂間相互作用
- 酸溶解/黒鉛炉原子吸光法によるシリコンウェハー上の微量金属分析
- 2a-T-8 Si(111)劈開面のSTM像と構造モデル
- Si表面のSTMによる観察 (超格子素子基礎技術) -- (極薄膜ヘテロ界面の構造と特性評価)
- 塗膜中における磁性粉の配向に関する理論的考察
- 位置決め機能付き原子間力顕微鏡の開発
- 位置決め機能付き原子間力顕微鏡を用いた洗浄評価技術
- 30a-H-3 STMによる2H-NbSe_2の表面原子像と振幅異常(表面・界面)
- 30a-H-2 半導体表面用UHV-STM(表面・界面)
- 31p-F4-13 UHV-STMによるSi表面の観察(II)(表面・界面)