PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第3報) -振動子の小型化, 高周波化-

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概要

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• 1998-09-01

著者

• 樋口 俊郎

  東京大学

• 森田 剛

  東京大学

• 神田 岳文

  東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻

• 黒澤 実

  東京大学 工学系研究科 精密機械工学専攻

• 森田 剛

  東大

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