周回形弾性表面波モータ用ステータ振動子の検討

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概要

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• 1997-03-01

著者

• 樋口 俊郎

  東京大学

• 黒澤 実

  東京大学 工学系研究科 精密機械工学専攻

• 石川 利夫

  日立製作所

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