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独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 | 論文
- 圧電性材料の厚膜形成技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の積層構造体作製とデバイス形成に関する研究
- パワーMEMS
- マイクロカンチレバーを用いた濃縮・分析機能を持つ高感度化学センサシステムの感度解析と濃縮率推定
- 701 熱ナノインプリントにおけるポリマーの変形解析(OS07.ポリマの変形と破壊に関するモデリングとシミュレーション(1))
- 20512 レーザー誘起表面弾性波測定による薄膜材料の機械的特性評価(トライボロジーと機械要素(1),OS.11 トライボロジーと機械要素)
- MEMS技術によるX線リソグラフィーマスクの試作
- 微細パターンのホットエンボシング成形(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- 424 放射光を用いた高アスペクト加工と異方性エッチングの組み合わせによる3次元マイクロ構造体の作製(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
- 大気ホットエンボッシング成形での超音波振動による精密転写技術の開発 (特集 微細加工技術)
- 103 伝熱構造連成解析による熱ナノインプリントの高スループット化の検討(OS14.ポリマの変形と破壊に関するモデリングとシミュレーション(1),オーガナイズドセッション)
- 超音波ホットエンボッシング成形技術の開発(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- 超音波加工 超音波振動によるホットエンボッシングのアシスト処理
- 708 同期共振を利用した逆C型単結晶シリコン共振子 : 構造設計と作製(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 709 ディスク型振動子デバイスの作製とその静電容量ギャップ形状の改善(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 717 ヒューマンヘルスケア応用のための超高感度マイクロ圧電共振デイスク(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 共振型マイクロ化学センサへの感応膜塗布特性の制御のための表面微細パターンの利用
- スマートプロセスによる金属酸化物ナノマテリアルの創製