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兵庫県大 高度産業科技研 | 論文
- 配管内マイクロ検査マシン (創刊15周年特集 マイクロマシン技術開発の現段階)
- マイクロ波による配管内エネルギー伝送システムの開発
- 3210 オプティカルフローに基づく光導波形触覚センサの三軸力計測(J22-2 次世代アクチュエータシステム(2),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- J1101-1-1 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの作製(次世代アクチュエータシステム)
- 3203 マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1301 電磁型マイクロアクチュエータの作製と評価(マイクロアクチュエータ,一般講演)
- 116 LIGAプロセスによる微細ラインマイクロコイルの作製(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- 室温ナノインプリント技術
- 室温ナノインプリント技術(ナノ加工技術,次世代ナノテクノロジー論文)
- シルセスキオキサンを用いた室温ナノインプリント技術 (シルセスキオキサンの合成・構造解析および最新の応用技術)
- フッ素含有ダイヤモンドライクカーボンを用いたナノインプリント剥離剤 (特集 ナノインプリントの新材料と新技術)
- 室温ナノインプリント材料・技術 (特集 ナノインプリントの新材料と新技術)
- 集束イオンビーム励起化学気相成長法を用いて作製したダイアモンドライクカーボンナノスプリングの機械特性
- 室温ナノインプリント技術 (特集 脚光をあびるナノインプリント技術)
- 3次元微細加工技術の現状と展望
- J1103-1-4 オプティカルフローを利用した光導波形触覚センサ([1103-1]次世代アクチュエータシステム)
- T1601-2-4 カーボンウェハを用いた大面積X線マスクの作製([T1601-2]マイクロナノメカトロニクス(2))
- 1206 ICPエッチング法による高アスペクト比微細構造体の作製(アクチュエータのためのマイクロナノプロセス,一般講演)
- 1210 オプティカルフローに基づく光導波形触覚センサの試作(触覚センサ・触覚ディスプレイ,一般講演)
- 微細加工技術と将来のめっき技術