三嶋 健斗 | 広島大学大学院 先端物質科学研究科

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概要

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関連著者

• 大田 晃生

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 東 清一郎

  広島大学大学院 先端物質科学研究科

• 三嶋 健斗

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 宮崎 誠一

  名古屋大学 大学院工学研究科

• 村上 秀樹

  広島大学大学院 先端物質科学研究科

• 三嶋 健斗

  広島大学大学院 先端物質科学研究科

• 大田 晃生

  広島大学大学院 先端物質科学研究科

• 村上 秀樹

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• 東 清一郎

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 宮崎 誠一

  広大院先端研

• 宮崎 誠一

  広大

• 宮崎 誠一

  名古屋大学大学院工学研究科

• 橋本 邦明

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 藤岡 知宏

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 宮崎 誠一

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 村上 秀樹

  Department Of Orthopaedic Surgery Kanazawa University School Of Medicine

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著作論文

• Ge(100)表面の極薄TiO_xキャッピングによるHfO_2原子層堆積/熱処理時の界面反応制御(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• TaO_x層挿入によるHfO_2/Ge界面反応制御(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• TaO_x層挿入によるHfO_2/Ge界面反応制御

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