飯川 裕也 | 理研

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概要

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• 理研の論文著者

関連著者

• 金子 聰

  東理大・理

• 飯川 裕也

  理研

• 宮川 宣明

  東理大・理・応物

• 飯川 裕也

  東理大・理・応物

• 宮川 宜明

  東理大・理・応物

• 宮川 宣明

  諏訪東理大・機械システム

• 宮川 宣明

  東理大・理

著作論文

• 28aTA-4 プラズマCVD法によるシリコンカーバイド薄膜のFTIRと生成機構
• プラズマCVD法によるa-SiC薄膜の赤外分光II : 気相成長
• 23pB2 RFプラズマCVD法によるa-SiCの成膜及び赤外分光法による評価(気相成長V)

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