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飯川 裕也 | 東理大・理・応物
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東理大・理・応物の論文著者
関連著者
金子 聰
東理大・理
飯川 裕也
理研
宮川 宣明
東理大・理・応物
飯川 裕也
東理大・理・応物
宮川 宜明
東理大・理・応物
著作論文
プラズマCVD法によるa-SiC薄膜の赤外分光II : 気相成長
23pB2 RFプラズマCVD法によるa-SiCの成膜及び赤外分光法による評価(気相成長V)
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