佐竹 うらら | 大阪大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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榎本 俊之
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佐竹 うらら
大阪大学大学院工学研究科
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田畑 憲一
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内藤 達也
大阪大学大学院
著作論文
- 研磨パッドの表面状態に着目した高能率研磨加工に関する研究
- Polishing Pad Specifications for Achieving High Edge Surface Flatness (Effect of Existing Edge Roll Off on Generated Edge Surface Profile)
- Achievement of Highly Flat Edge with Double-Layered Polishing Pad (Improvement of Edge Flatness with Softening Upper Layer)