廣瀬 研二 | 大阪大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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廣瀬 研二
大阪大学大学院工学研究科
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榎本 俊之
大阪大学大学院
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榎本 俊之
大阪大学大学院工学研究科
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田畑 憲一
東レ(株)
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澤田 英樹
大阪大学大学院工学研究科
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榎本 俊之
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王 文瀟
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大阪大学大学院工学研究科
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内藤 達也
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杉原 達哉
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雪永 敏志
大阪大学
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廣瀬 研二
大阪大学
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佐竹 うらら
大阪大学大学院
著作論文
- 構造解析を用いた高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 大口径シリコンウェーハの高平坦両面研磨加工に関する研究 : 加工条件の最適化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 研磨パッドの表面状態に着目した高能率研磨加工に関する研究
- 低周波数域を用いた振動切削加工技術に関する研究 : 振動切削における切削液の効果に関する検討