佐竹 うらら | 大阪大学大学院

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概要

• 同名の論文著者
• 大阪大学大学院の論文著者

関連著者

• 榎本 俊之

  大阪大学大学院

• 佐竹 うらら

  大阪大学大学院

• 佐竹 うらら

  大阪大学大学院工学研究科

• 三宅 貴大

  大阪大学大学院工学研究科

• 榎本 俊之

  大阪大学大学院工学研究科

• 廣瀬 研二

  大阪大学大学院工学研究科

• 内藤 達也

  大阪大学大学院工学研究科

• 佐藤 基起

  大阪大学大学院工学研究科

• 田畑 憲一

  東レ（株）

• 内藤 達也

  大阪大学大学院

著作論文

• 研磨パッドの表面状態に着目した高能率研磨加工に関する研究
• Achievement of Highly Flat Edge with Double-Layered Polishing Pad (Improvement of Edge Flatness with Softening Upper Layer)
• シリコンウェーハ研磨加工におけるウェーハエッジ部の表面形状創成過程:—研磨パッド変形量がエッジ・ロールオフ生成に及ぼす影響—

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