三宅 貴大 | 大阪大学大学院工学研究科
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
三宅 貴大
大阪大学大学院工学研究科
-
榎本 俊之
大阪大学大学院工学研究科
-
榎本 俊之
大阪大学大学院
-
田畑 憲一
東レ(株)
-
三宅 貴大
大阪大学工学部応用理工学科
-
佐竹 うらら
大阪大学大学院工学研究科
-
田畑 憲一
東レ（株）
-
佐竹 うらら
大阪大学大学院
著作論文
- シリコンウェーハ・エッジの高平坦仕上げを実現する研磨パッドの開発 : 静的・動的モデルによるエッジ平坦性の向上(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- シリコンウェーハ・エッジの高平坦仕上げを実現する研磨パッドの開発 : 静的・動的モデルによるエッジ平坦性の向上
- 研磨パッドの粘弾性特性に着目した工作物エッジ・ロールオフ生成に関する検討(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- Achievement of Highly Flat Edge with Double-Layered Polishing Pad (Improvement of Edge Flatness with Softening Upper Layer)