田畑 憲一 | 東レ(株)
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概要
関連著者
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榎本 俊之
大阪大学大学院工学研究科
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田畑 憲一
東レ(株)
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三宅 貴大
大阪大学大学院工学研究科
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澤田 英樹
大阪大学大学院工学研究科
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榎本 俊之
大阪大学大学院
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榎本 俊之
阪大
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王 文瀟
大阪大学大学院工学研究科
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廣瀬 研二
大阪大学大学院工学研究科
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澤田 英樹
阪大
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上 真樹
東レ
著作論文
- シリコンウェーハ・エッジの高平坦仕上げを実現する研磨パッドの開発 : 静的・動的モデルによるエッジ平坦性の向上(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- シリコンウェーハ・エッジの高平坦仕上げを実現する研磨パッドの開発 : 静的・動的モデルによるエッジ平坦性の向上
- 構造解析を用いた高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 3502 シリコンウェーハのエッジ高平坦研磨に関する研究(S62,63 砥粒・特殊加工,S62,63 砥粒加工/レーザ・電気・化学加工)