樹神 雅人 | 豊田中央研究所

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概要

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著作論文

• SPE法によるSOI層中の不純物拡散
• 埋込みゲートを有する縦型MOS FET
• SPE法によるSOI層の熱酸化膜の評価
• 固相結晶成長法により作製されたlateral Power MOS FETの温度特性のデバイスパラメータ依存性
• SiH_4を用いた清浄表面形成法によるSPE技術とSOI層の評価

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