高木 雄太 | 三重大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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三宅 秀人
三重大学大学院工学研究科
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平松 和政
三重大学大学院工学研究科
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平松 和政
三重大 工
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Matsushima Hidetada
Department Of Electronics School Of Engineering Nagoya University
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高木 雄太
三重大学大学院工学研究科
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平松 和政
三重大学大学院 工学研究科
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三宅 秀人
三重大学工学部電気電子工学科
著作論文
- a面Sapphire上周期溝加工c面AlNを基板に用いた減圧HVPE法による厚膜AlN成長(HVPE,その他の薄膜成長と評価,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- a面Sapphire上周期溝加工c面AlNを基板に用いた減圧HVPE法による厚膜AlN成長(HVPE,その他の薄膜成長と評価,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- a面Sapphire上周期溝加工c面AINを基板に用いた減圧HVPE法による厚膜AIN成長(HVPE,その他の薄膜成長と評価,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))