河西 敏雄 | 東京電機大
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概要
関連著者
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河西 敏雄
東京電機大学
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河西 敏雄
東京電機大
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河西 敏雄
(株)河西研磨技術特別研究室
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土肥 俊郎
九州大学
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土肥 俊郎
埼玉大学教育学部
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大森 整
(独)理化学研究所
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渡邉 裕
(独)理化学研究所
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林 偉民
秋田県立大学
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土肥 俊郎
埼玉大学 教育学部
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瀬山 貴司
埼玉大学
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木下 将毅
埼玉大学
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池野 順一
埼玉大学
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渡辺 裕
理研
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林 偉民
(独)理化学研究所
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高橋 邦充
産業創造研究所
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米山 友之
東京電機大・工・精密機械
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林 偉民
秋田県立大学 システム科学技術学部機械知能システム学科
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大森 整
(独)理化学研究所 中央研究所 素形材工学研究室
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池野 順一
埼玉大学大学院理工学研究科
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大内 英俊
山梨大学
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長田 佐
山梨大学
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相川 力
東京電機大学
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清宮 紘一
産業技術総合研究所ものづくり先端技術研究センター
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長田 佐
山梨大
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渡辺 裕
弘前大・理工
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清宮 紘一
産業技術総合研究所
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米山 友之
東京電機大学
著作論文
- 新しいベルジャー型CMP装置(第二報) : ベルジャー内の雰囲気ガスによるCu-CMP特性と加工メカニズム
- 連携加工プロセスによる光学素子のナノ精度鏡面加工
- ラッピングにおける発生振動周波数について
- シリコンウェハのレーザ加工におけるSF_6アシストガス効果
- 研磨加工技術
- ハイテク技術を支える研磨加工(はじめての精密工学)
- 超精密研磨加工の動向
- 研磨加工における技能の技術化(技能の技術化の現状と課題)
- 研磨加工における技能の技術化について(1)
- 生産原論専門委員会報告(生産原論専門委員会,専門委員会・分科会研究レビュー)