脇本 節子 | 富士電機AT
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概要
関連著者
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脇本 節子
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望月 邦雄
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高橋 孝太
富士電機アドバンストテクノロジー株式会社
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岩本 進
富士電機アドバンストテクノロジー株式会社
著作論文
- シリコントレンチエッチングにおけるシースの役割
- トレンチ形成におけるエッチング特性とプラズマ物性の関係 (特集 半導体)
- トレンチ埋込法により作製した20mΩcm^2 660V SJ-MOSFET
- 深いトレンチエッチングとエピタキシャル成長により作製した耐圧500V以上のSJ-MOSFET