藤掛 伸二 | 富士電機アドバンストテクノロジー

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概要

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• 成田 政隆

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著作論文

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• シリコントレンチエッチングにおけるシースの役割
• プラズマCVDによるa-SiN:H堆積におけるラジカルの実効付着係数の測定
• プラズマCVDによるa-Si系薄膜製膜時のイオン衝撃の影響

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