脇本 節子 | 富士電機アドバンストテクノロジー

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概要

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• 脇本 節子

  富士電機アドバンストテクノロジー

• 望月 邦雄

  富士電機アドバンストテクノロジー

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• 岩本 進

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著作論文

• シリコントレンチエッチングにおけるシースの役割
• 深いトレンチエッチングとエピタキシャル成長により作製した耐圧500V以上のSJ-MOSFET

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