栗林 均 | 富士電機アドバンストテクノロジー
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概要
関連著者
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栗林 均
富士電機アドバンストテクノロジー
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蛭田 玲子
富士電機アドバンストテクノロジー
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岩崎 裕
大阪大学産業科学研究所
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須藤 孝一
阪大産研
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岩崎 裕
阪大
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岩崎 裕
阪大産研
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須藤 孝一
大阪大学産業科学研究所
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中澤 治雄
富士電機アドバンストテクノロジー
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Iwasaki H
The Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka University
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Iwasaki Hiroshi
Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka Univerisity
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高橋 孝太
富士電機at
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Iwasaki Hiroko
Research And Development Center Ricoh Company Ltd.
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清水 了典
富士電機アドバンストテクノロジー(株)物質・科学研究所
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脇本 節子
富士電機アドバンストテクノロジー
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望月 邦雄
富士電機アドバンストテクノロジー
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中澤 治雄
富士電機at
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栗林 均
富士電機at
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望月 邦雄
富士電機at
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脇本 節子
富士電機AT
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高橋 孝太
富士電機アドバンストテクノロジー株式会社
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岩本 進
富士電機アドバンストテクノロジー株式会社
著作論文
- 14pXG-12 シリコン表面上に形成したトレンチ構造の側壁におけるステップの挙動(表面界面構造 : 半導体, 領域 9)
- シリコントレンチ構造微視変形の解析 (解析・評価技術特集)
- 深いトレンチエッチングとエピタキシャル成長により作製した耐圧500V以上のSJ-MOSFET