成田 政隆 | 富士電機デバイステクノロジー

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概要

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• 富士電機デバイステクノロジーの論文著者

関連著者

• 成田 政隆

  富士電機デバイステクノロジー

• 市川 幸美

  富士電機アドバンストテクノロジー

• 藤掛 伸二

  富士電機アドバンストテクノロジー

• 成田 政隆

  富士電機

• 市川 幸美

  富士電機デバイステクノロジー

著作論文

• プラズマCVD窒化膜の組成制御技術 (特集 半導体)
• プラズマ CVD 準絶縁性アモルファスシリコン窒化膜の組成制御技術
• 大気圧酸素陽光柱プラズマの解析
• プラズマCVDによるa-SiN:H堆積におけるラジカルの実効付着係数の測定

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