トレンチ埋込法により作製した20mΩcm^2 660V SJ-MOSFET

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概要

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• 2006-10-25

著者

• 高橋 孝太

  富士電機at

• 河島 朋之

  富士電機at

• 中澤 治雄

  富士電機at

• 栗林 均

  富士電機at

• 望月 邦雄

  富士電機at

• 脇本 節子

  富士電機AT

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