中居 克彦 | ワッカー Nsce R & D グループ品質評価チーム
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概要
関連著者
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中居 克彦
ワッカー Nsce R & D グループ品質評価チーム
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中居 克彦
新日鉄 先端技研
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大橋 渡
新日本製鐵(株)技術開発本部
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中居 克彦
新日本製鐵
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中居 克彦
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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池松 陽一
新日本製鐵株式会社先端技術研究所
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池松 陽一
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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長谷部 政美
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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碇 敦
ワッカー Nsce R & D グループ品質評価チーム
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高橋 淳
新日本製鐵(株)技術開発本部 先端技術研究所
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池松 陽一
新日鉄先端技研
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高橋 淳
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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藤浪 真紀
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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井上 宜治
新日本製鐵株式会社鉄鋼研究所
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水谷 敏行
新日鉄 先端技研
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水谷 敏行
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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岩崎 俊夫
ニッテツ電子
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碇 敦
新日本製鐵(株)技術開発本部
-
立川 昭義
新日本製鐵(株)技術開発本部
-
石坂 和紀
新日本製鐵(株)技術開発本部
-
横田 秀樹
新日本製鐵(株)技術開発本部
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川上 和人
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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加藤 英生
新日本製鐵(株)半導体材料研究部
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川上 和人
新日鉄中研
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川上 和人
新日本製鐵(株)技術開発本部 先端技術研究所
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川上 和人
新日鉄先端技術
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中居 克彦
ワッカーエヌエスシーイーR&D
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出合 博之
新日本製鐵(株)技術開発本部
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高橋 淳
先端技術研究所
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井上 宜治
先端技術研究所
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太田 泰光
新日本製鐵(株)技術開発本部
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井上 宣治
新日本製鐵(株)解析科学研究部
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玉木 輝幸
新日本製鐵(株)半導体材料研究部
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井上 宜治
新日本製鐵(株)鉄鋼研究所鋼材第一研究部
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岩崎 俊夫
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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小島 清
ニッテツ電子(株)製造部
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川上 和人
新日本製鐵(株)
著作論文
- Si結晶内のボイド状欠陥成長機構(バルク成長分科会特集 : シリコン結晶の最近の話題から)
- Si結晶内のGrownin欠陥成長機構
- 窒素添加によるCZ-Si結晶のgrown-in欠陥挙動(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
- 赤外レーザー散乱法・干渉法によるシリコン結晶中の微小欠陥の可視化
- 窒素添加によるCZ-Si結晶欠陥制御 : シリコン(21世紀を担うバルク単結晶)
- 窒素添加によるチョクラルスキーシリコン中の結晶欠陥制御
- 技術論文 エピ基板酸素析出制御と高ゲッタリング能エピウェーハ (シリコンウェーハ特集)
- 技術論文 デバイスの高度化に対応したシリコンウェーハ欠陥制御 (シリコンウェーハ特集)
- 酸化膜絶縁耐圧特性の優れたシリコン結晶 (新素材小特集)
- シリコン結晶育成中の欠陥形成機構