玉木 輝幸 | 新日本製鐵(株)半導体材料研究部
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概要
関連著者
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玉木 輝幸
新日本製鐵(株)半導体材料研究部
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藤崎 敬介
新日本製鐵
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高橋 淳
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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川上 和人
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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大門 正博
新日本製鐵(株) プロセス技術研究所
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大門 正博
新日本製鐵株式会社技術開発本部環境・プロセス研究開発センター
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加藤 英生
新日本製鐵(株)半導体材料研究部
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川上 和人
新日鉄中研
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大橋 渡
新日本製鐵(株)技術開発本部
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安廣 祥一
(株)協栄エレクトロニクス
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川上 和人
新日本製鐵(株)技術開発本部 先端技術研究所
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川上 和人
新日鉄先端技術
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本間 穂高
新日本製鐵(株)鉄鋼研究所
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本間 穂高
新日本製鐵
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本間 穂高
新日本製鐵株式会社技術開発本部鉄鋼研究所
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中居 克彦
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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碇 敦
ワッカー Nsce R & D グループ品質評価チーム
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高橋 淳
新日本製鐵(株)技術開発本部 先端技術研究所
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藤崎 敬介
新日本製鐵(株)技術開発本部
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碇 敦
新日本製鐵(株)技術開発本部
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立川 昭義
新日本製鐵(株)技術開発本部
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横田 秀樹
新日本製鐵(株)技術開発本部
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井上 宣治
新日本製鐵(株)解析科学研究部
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中居 克彦
ワッカー Nsce R & D グループ品質評価チーム
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中居 克彦
新日本製鐵
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玉木 輝幸
新日本製鐵株式会社技術開発本部環境・プロセス研究開発センター
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玉木 輝幸
新日本製鐵(株)技術開発本部
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中居 克彦
新日鉄 先端技研
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川上 和人
新日本製鐵(株)
著作論文
- 窒素添加によるCZ-Si結晶のgrown-in欠陥挙動(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
- 技術論文 大口径シリコン結晶におけるリング状OSFの制御 (シリコンウェーハ特集)
- 三次元多結晶磁場解析と実測結果との比較
- 鉄鋼生産でのオンライン計測用赤外分光装置の開発