立川 昭義 | 新日本製鐵(株)技術開発本部
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概要
関連著者
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立川 昭義
新日本製鐵(株)技術開発本部
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碇 敦
ワッカー Nsce R & D グループ品質評価チーム
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大橋 渡
新日本製鐵(株)技術開発本部
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中居 克彦
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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高橋 淳
新日本製鐵(株)技術開発本部 先端技術研究所
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新日本製鐵(株)技術開発本部
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出合 博之
新日本製鐵(株)技術開発本部
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新日本製鐵(株)技術開発本部
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新日本製鐵(株)技術開発本部
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中居 克彦
ワッカー Nsce R & D グループ品質評価チーム
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中居 克彦
新日本製鐵
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中居 克彦
新日鉄 先端技研
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高橋 淳
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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川上 和人
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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新日本製鐵株式会社鉄鋼研究所
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新日本製鐵(株)半導体材料研究部
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川上 和人
新日鉄中研
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川上 和人
新日本製鐵(株)技術開発本部 先端技術研究所
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川上 和人
新日鉄先端技術
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沖電気(株)半導体技術研究所
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藍郷 崇
新日本製鐡(株)エレクトロニクス研究所
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高山 誠治
新日本製鐡(株)エレクトロニクス研究所
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後藤 光彦
新日本製鐡(株)エレクトロニクス研究所
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太田 泰光
新日本製鐡(株)エレクトロニクス研究所
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城生 愛次
新日本製鐡(株)エレクトロニクス研究所
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立川 昭義
新日本製鐡(株)エレクトロニクス研究所
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森谷 明弘
新日本製鐡(株)エレクトロニクス研究所
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市岡 俊彦
沖電気(株)半導体技術研究所
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石坂 和紀
新日本製鐵(株)技術開発本部
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高橋 淳
先端技術研究所
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井上 宜治
先端技術研究所
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井上 宣治
新日本製鐵(株)解析科学研究部
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玉木 輝幸
新日本製鐵(株)半導体材料研究部
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藍郷 崇
新日本製鉄 先端技研
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川上 和人
新日本製鐵(株)
著作論文
- 窒素添加によるCZ-Si結晶のgrown-in欠陥挙動(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
- 寄生容量の影響を低減したパワーMESFET/Siの試作
- 窒素添加によるCZ-Si結晶欠陥制御 : シリコン(21世紀を担うバルク単結晶)
- 技術論文 窒素添加によるシリコン結晶欠陥制御とArアニールウェーハ (シリコンウェーハ特集)