技術論文 窒素添加によるシリコン結晶欠陥制御とArアニールウェーハ (シリコンウェーハ特集)

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概要

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• 新日本製鉄の論文

著者

• 碇 敦

  ワッカー Nsce R & D グループ品質評価チーム

• 立川 昭義

  新日本製鐵(株)技術開発本部

• 出合 博之

  新日本製鐵(株)技術開発本部

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