太田 泰光 | 新日本製鐵(株)技術開発本部
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概要
関連著者
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太田 泰光
新日本製鐵(株)技術開発本部
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立川 昭義
新日本製鐵(株)技術開発本部
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新日本製鐵(株)技術開発本部
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市岡 俊彦
沖電気(株)半導体技術研究所
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横田 秀樹
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先端技術研究所
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中居 克彦
ワッカー Nsce R & D グループ品質評価チーム
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中居 克彦
新日本製鐵
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新日本製鉄 先端技研
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中居 克彦
新日鉄 先端技研
著作論文
- 寄生容量の影響を低減したパワーMESFET/Siの試作
- 窒素添加によるCZ-Si結晶欠陥制御 : シリコン(21世紀を担うバルク単結晶)
- 技術論文 シリコンウェーハの信頼性評価技術 (シリコンウェーハ特集)