菊池 敏 | 三菱化学(株)筑波工場
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概要
関連著者
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秋本 晃一
名古屋大学工学部
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榎本 貴志
豊田工業高等専門学校
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一宮 彪彦
名大工
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一宮 彪彦
名古屋大学大学院工学研究科
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秋本 晃一
名大院工
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秋本 晃一
名工大
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板垣 和夫
三菱化学(株)筑波工場
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一宮 彪彦
名古屋大学
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名古屋大学工学部
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吉田 泰則
名古屋大学工学研究科
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菊地 敏
三菱化学(株)筑波工場
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浪田 秀郎
CACs(株)筑波分析センター
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菊池 敏
三菱化学(株)筑波工場
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秋本 晃一
名古屋大学・院工・量子工学
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榎本 貴志
豊田工業高専
著作論文
- 逆スパッタ表面処理による絶縁膜-半導体界面近傍の格子歪(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- 逆スパッタ表面処理による絶縁膜-半導体界面近傍の格子歪(結晶成長評価およびデバイス(化合物, Si, SiGe, その他の電子材料))
- 逆スパッタ表面処理による絶縁膜-半導体界面近傍の格子歪(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))