水野 源大 | 北見工業大学電気電子工学科

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概要

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関連著者

• 武山 真弓

  北見工業大学電気電子工学科

• 野矢 厚

  北見工業大学工学部電気電子工学科

• 野矢 厚

  北見工業大学電気電子工学科

• 水野 源大

  北見工業大学電気電子工学科

• 武山 真弓

  北見工業大学工学部電気電子工学科

• 武山 真弓

  北見工業大学

• 野矢 厚

  北見工業大学

• 青柳 英二

  東北大学金属材料研究所

• 若林 佳恵

  北見工業大学工学部

• 若林 佳恵

  北見工業大学工学部:(現)(株)フォーラムエンジニアリング

• 野矢 厚

  北見工業大学工学部

• 武山 真弓

  北見工業大学工学部

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著作論文

• 45nmノード対応の極薄VNバリヤを用いたCu/VN/SiOC/Si構造のナノ界面制御(電子部品・材料, 及び一般)
• Cu/VN/SiOC/Si系における極薄VNバリヤの特性(薄膜プロセス・材料,一般)

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