河野 博之 | トクヤマ

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概要

• 同名の論文著者
• トクヤマの論文著者

関連著者

• 黒河 周平

  九州大学大学院工学研究院

• 土肥 俊郎

  埼玉大学教育学部

• 松川 洋二

  九大

• 黒河 周平

  九大

• 梅崎 洋二

  九大

• 梅崎 洋二

  九州大学工学部

• 河野 博之

  トクヤマ

• 土肥 俊郎

  九大

• 土肥 俊郎

  九州大学大学院

• 梅崎 洋二

  九州大学

• 土肥 俊郎

  九州大学大学院工学研究院

• 伊藤 吉彦

  九大院

• 河野 博之

  (株)トクヤマ化学技術研究所

• 大木 洋太

  九大院

• 木原 丈晴

  九大院

• 河野 博之

  九大

• 黒河 周平

  九大 大学院工学研究院

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著作論文

• H24 フュームドシリカスラリーによる層間絶縁膜CMPにおける粗大砥粒とマイクロスクラッチの関係 : マイクロスクラッチ観察法の検討について(H2 加工(CMP-2))
• H23 密閉型CMPシステムによるCu-CMPとその加工モデルの提案(H2 加工(CMP-2))
• 317 CMP用フュームドシリカスラリー調整条件とスクラッチ欠陥発生との相関関係(GS 生産加工III)

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